1、隔膜真空泵的極限壓強泵的壓強單位是Pa，是指泵在入口處裝有標準試驗罩並按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的*低壓強。
2、隔膜真空泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標準試驗罩，並按規定條件工作時，從試驗罩流過的氣體流量與在試驗罩指定位置測得的平衡壓強之比。簡稱泵的抽速。
3、隔膜真空泵的抽氣量隔膜泵的抽氣量單位是Pam3/s或Pal/s。是指泵入口的氣體流量。
4、隔膜真空泵的起動壓強隔膜泵的起動壓強單位為Pa，它是指泵無損壞起動並有抽氣作用時的壓強。
5、泵的前級壓強隔膜泵的前級壓強單位是Pa，它是指排氣壓強低於一個大氣壓的隔膜泵的出口壓強。
6、隔膜真空泵的*大前級壓強隔膜泵口*大前級壓強單位是Pa，它是指超過了能使泵損壞的前級壓強。
7、隔膜真空泵的*大工作壓強隔膜泵的*大工作壓強單位是Pa，它是指對應*大抽氣量的入口壓強。在此壓強下，泵能連續工作而不惡化或損壞。
8、壓縮比壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比。
9、何氏系數泵抽氣通道面積上的實際抽速與該處按分子泻流計算的理論抽速之比。
10、抽速系數泵的實際抽速與泵入口處按分子泻流計算的理論抽速之比。
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